纯金属及金属合金溅射靶材列表
溅射靶材主要应用于电子及信息产业,如集成电路、信息存储、液晶显示屏、激光存储器、电子控制器件等;亦可应用于玻璃镀膜领域;还可以应用于耐磨材料、高温耐蚀、高档装饰用品等行业。
分类
根据形状可分为长靶,方靶,圆靶,异型靶
根据成份可分为金属靶材、合金靶材、陶瓷化合物靶材
根据应用领域分为微电子靶材、磁记录靶材、光碟靶材、贵金属靶材、薄膜电阻靶材、导电膜靶材、表面改性靶材、光罩层靶材、装饰层靶材、电极靶材、封装靶材、其他靶材
产品名称
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化学符号
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含量
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性质
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钛溅射靶材
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Ti
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2N6,4N,5N
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平面靶材,旋转靶材
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镍溅射靶材
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Ni
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2N5, 3N
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平面靶材,旋转靶材
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锆溅射靶材
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Zr
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2N5
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平面靶材,旋转靶材
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钨溅射靶材
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W
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3N5
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平面靶材,旋转靶材
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钼溅射靶材
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Mo
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3N5
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平面靶材,旋转靶材
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钽溅射靶材
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Ta
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3N5, 4N
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平面靶材,旋转靶材
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铌溅射靶材
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Nb
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3N5, 4N
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平面靶材,旋转靶材
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铜溅射靶材
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Cu
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3N8
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平面靶材,旋转靶材
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铝溅射靶材
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Al
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4N
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平面靶材,旋转靶材
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钛铝合金溅射靶材
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Ti + Al
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2N7
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平面靶材,旋转靶材
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钼铌合金溅射靶材
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Mo+Nb
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3N5
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平面靶材,旋转靶材
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钨钼合金溅射靶材
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W+Mo
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3N5
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平面靶材,旋转靶材
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铌钨合金溅射靶材
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Nb521
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3N5
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平面靶材,旋转靶材
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铌钛合金溅射靶材
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Nb+Ti
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2N5
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平面靶材,旋转靶材
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铌锆合金溅射靶材
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Nb+Ti
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2N5
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平面靶材,旋转靶材
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