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电子束蒸发镀膜的特点

[ 信息发布:本站 | 发布时间:2018-12-04 | 浏览:912次 ]

电子束加热蒸发镀膜的优点:  

1. 镀膜机中的电子束加热的方法与传统的电阻加热的方法相比较的话。电子束加热会产生更高的通量密度,这样的话对于高熔点的材料的蒸发比较有利,而且还可以使的蒸发的速率得到一定程度上的提高。 

2. 蒸发镀膜机在工作的时候会将需要被蒸发的原材料放入到水冷铜坩埚内,这样就可以保证材料避免被污染,可以制造纯度比较高的薄膜。 

3. 电子束蒸发的粒子动能比较的大,这样会有利于薄膜的精密性和结合力


电子束加热蒸发镀膜的缺点: 

1. 电子束蒸发镀膜机的整体的构造比较的复杂,价格相较于其他的镀膜设备而言比较的偏高。

2. 镀膜机在工作的时候,如果蒸发源附近的蒸汽的密度比较高的话,就会使得电子束流和蒸汽粒子之间发生一些相互的作用,将会对电子的通量产生影响,使得电子的通量散失或者偏移轨道。同时你还可能会引发蒸汽和残余的气体的激发和电离,以此影响到整个薄膜的质量。

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